前 言
本尺度划定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放限值、监测和监控要求,以及尺度实验与监视等相关划定。
本尺度未划定的污染物项目仍执行国家或地方响应的污染物排放尺度。
本尺度实验后,国家新宣布的行业尺度严于本尺度时,应执行国家尺度。情形影响评价文件或排污允许证要求严于本尺度时,凭证批复的情形影响评价文件或排污允许证执行。
本尺度凭证GB/T 1.1起草。
本尺度为首次宣布。
本尺度由江苏省生态情形厅提出并归口。
本尺度江苏省人民政府于2019年12月11日批准。
半导体行业污染物排放尺度
1 规模
本尺度划定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放尺度限值、监测要求、达标判断、实验与监视。
本尺度适用于半导体企业的水污染物排放治理、大气污染物排放治理,以及半导体企业排污允许治理、建设项目情形影响评价、建设项目情形掩护设施设计、完工验收及其投产后的污染控制与治理。
半导体企业与污水集中处置赏罚设施接纳协商方式确定企业水污染物间接排放限值时,污水集中处置赏罚设施的水污染物排放治理也适用于本尺度。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不行少的。通常注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。通常不注日期的引用文件,其最新版本(包罗所有的修改单)适用于本文件。
GB 3095 情形空气质量尺度
GB 3838 地表水情形质量尺度
GB/T 6920 水质 pH值的测定 玻璃电极法
GB/T 7466 水质 总铬的测定
GB/T 7467 水质 六价铬的测定 二苯碳酰二肼分光光度法
GB/T 7470 水质 铅的测定 双硫腙分光光度法
GB/T 7471 水质 镉的测定 双硫腙分光光度法
GB/T 7475 水质 铜、锌、铅、镉的测定 原子吸收分光光度法
GB/T 7484 水质 氟化物的测定 离子选择电极法
GB/T 7485 水质 总砷的测定 二乙基二硫代氨基甲酸银分光光度法
GB/T 7494 水质 阴离子外貌活性剂的测定 亚甲蓝分光光度法
GB 8978 污水综合排放尺度
GB/T 11893 水质 总磷的测定 钼酸铵分光光度法
GB/T 11901 水质 悬浮物的测定 重量法
GB/T 11907 水质 银的测定 火焰原子吸收分光光度法
GB/T 11910 水质 镍的测定 丁二酮肟分光光度法
GB/T 11912 水质 镍的测定 火焰原子吸收分光光度法
GB 13271 锅炉大气污染物排放尺度
GB/T 15432 情形空气 总悬浮颗粒物的测定 重量法
GB/T 15516 空气质量 甲醛的测定 乙酰丙酮分光光度法
GB/T 16157 牢靠污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样要领
GB/T 16489 水质 硫化物的测定 亚甲基蓝分光光度法
HJ/T 27 牢靠污染源排气中氯化氢的测定 硫氰酸汞分光光度法
HJ/T 28 牢靠污染源排气中氰化氢的测定 异烟酸-吡唑啉酮分光光度法
HJ/T 30 牢靠污染源排气中氯气的测定 甲基橙分光光度法
HJ 38 牢靠污染源废气 总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定 气相色谱法
HJ/T 42 牢靠污染源排气中氮氧化物的测定紫外分光光度法
HJ/T 43 牢靠污染源排气中氮氧化物的测定盐酸萘乙二胺分光光度法
HJ/T 55 大气污染物无组织排放监测手艺导则
HJ/T 60 水质 硫化物的测定 碘量法
HJ/T 65 大气牢靠污染源 锡的测定 石墨炉原子吸收分光光度法
HJ/T 67 大气牢靠污染源 氟化物的测定 离子选择电极法
HJ 75 牢靠污染源烟气(SO2、NOx、颗粒物)排放一连监测手艺规范
HJ 76 牢靠污染源烟气(SO2、NOx、颗粒物)排放一连监测系统手艺要求及检测要领
HJ 84 水质 无机阴离子的测定 离子色谱法
HJ/T 91 地表水和污水监测手艺规范
HJ/T 195 水质 氨氮的测定 气相分子吸收光谱法
HJ/T 199 水质 总氮的测定 气相分子吸收光谱法
HJ/T 200 水质 硫化物的测定 气相分子吸收光谱法
HJ/T 397 牢靠源废气监测手艺规范
HJ/T 399 水质 化学需氧量的测定 快速消解分光光度法
HJ 484 水质 氰化物的测定 容量法和分光光度法
HJ 485 水质 铜的测定 二乙基二硫代氨基甲酸钠分光光度法
HJ 486 水质 铜的测定 2,9-二甲基-1,10-菲啰啉分光光度法
HJ 487 水质 氟化物的测定 茜素磺酸锆目视比色法
HJ 488 水质 氟化物的测定 氟试剂分光光度法
HJ 489 水质 银的测定 3,5-Br2-PADAP分光光度
HJ 490 水质 银的测定 镉试剂2B分光光度法
HJ 493 水质 采样样品的生涯和治理手艺划定
HJ 494 水质 采样手艺指导
HJ 495 水质 采样方案设计手艺指导
HJ 501 水质 总有机碳的测定 燃烧氧化-非疏散红外吸收法
HJ 533 情形空气和废气 氨的测定 纳氏试剂分光光度法
HJ 534 情形空气 氨的测定 次氯酸钠-水杨酸分光光度法
HJ 535 水质 氨氮的测定 纳氏试剂分光光度法
HJ 536 水质 氨氮的测定 水杨酸分光光度法
HJ 537 水质 氨氮的测定 蒸馏-中和滴定法
HJ 544 牢靠污染源废气 硫酸雾的测定 离子色谱法
HJ 548 牢靠污染源废气 氯化氢的测定 硝酸银容量法
HJ 549 情形空气和废气 氯化氢的测定 离子色谱法
HJ 604 情形空气 总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定 直接进样-气相色谱法
HJ 636 水质 总氮的测定 碱性过硫酸钾消解紫外分光光度法
HJ 637 水质 石油类和动植物油的测定 红外分光光度法
HJ 644 情形空气 挥发性有机物的测定 吸附管采样-热脱附/气相色谱-质谱法
HJ 657 空气和废气颗粒物中铅等金属元素的测定电感耦合等离子体质谱
HJ 659 水质 氰化物等的测定 真空检测管-电子比色法
HJ 665 水质 氨氮的测定 一连流动-水杨酸分光光度法
HJ 666 水质 氨氮的测定 流动注射-水杨酸分光光度法
HJ 667 水质 总氮的测定 一连流动-盐酸萘乙二胺分光光度法
HJ 668 水质 总氮的测定 流动注射-盐酸萘乙二胺分光光度法
HJ 670 水质 磷酸盐和总磷的测定 一连流动-钼酸铵分光光度法
HJ 671 水质 总磷的测定 流动注射-钼酸铵分光光度法
HJ 683 情形空气 醛、酮类化合物的测定高效液相色谱法
HJ 692 牢靠污染源废气 氮氧化物的测定 非疏散红外吸收法
HJ 693 牢靠污染源废气 氮氧化物的测定 定电位电解法
HJ 694 水质 汞、砷、硒、铋和锑的测定 原子荧光法
HJ 700 水质 65 种元素的测定 电感耦合等离子体质谱法
HJ 732 牢靠污染源废弃挥发性有机物的采样 气袋法
HJ 734 牢靠污染物源废气 挥发性有机物的测定 固相吸附-热脱附/气相色谱-质谱法
HJ 759 情形空气 挥发性有机物的测定 罐采样/气相色谱-质谱法
HJ 776 水质 32种元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
HJ 777 空气和废气 颗粒物中金属元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
HJ 828 水质 化学需氧量的测定 重铬酸盐法
HJ 836 牢靠污染源废气 低浓度颗粒物的测定 重量法
HJ 908 水质 六价铬的测定 流动注射-二苯碳酰二肼光度法
HJ 955 情形空气 氟化物的测定 滤膜采样/氟离子选择电极法
HJ 970 水质 石油类的测定 紫外分光光度法
《污染源自动监控治理措施》(国家情形掩护总局令 第28号)
《情形监测治理措施》(国家情形掩护总局令 第39号)
3 术语和界说
下列术语和界说适用于本尺度。
3.1
半导体企业 semiconductor industry
从事半导体分立器件或集成电路的制造、封装测试的企业。
3.2
现有企业 existing facility
指本尺度实验之日前已建成投产或情形影响评价文件已通过审批的半导体企业。
3.3
新建企业 new facility
指本尺度实验之日起情形影响评价文件通过审批的新建、改建和扩建的半导体工业建设项目。
3.4
直接排放 direct disge
指排污单元直接向情形水体排放水污染物的行为。
3.5
间接排放 indirect disge
排污单元向污水集中处置赏罚设施排放水污染物的行为。
3.6
污水集中处置赏罚设施 concentrated wastewater treatment facilities
为两家及两家以上排污单元提供污水处置赏罚服务的污水处置赏罚设施,包罗种种规模和类型的城镇污水集中处置赏罚设施、工业集聚区(经济手艺开发区、高新手艺工业开发区、出口加工区等种种工业园区)污水集中处置赏罚设施,以及其他由两家及两家以上排污单元共用的污水处置赏罚设施等。
3.7
排水量 effluent volume
企业或生产设施排放到企业法定界线外的废水量。包罗与生产有直接或间接关系的种种外排废水(含厂区生涯污水、冷却废水、厂区锅炉和电站废水等)。
3.8
单元产物基准排水量 benchmark effluent volume per unit product
用于审定水污染物排放浓度而划定的生产单元产物的污水排放量上限值。
3.9
挥发性有机物 volatile organic compounds,VOCs
加入大气光化学反映的有机化合物,或者凭证有关划定确定的有机化合物。在表征VOCs总体排放情形时,凭证行业特征和情形治理要求,可接纳总挥发性有机物(以TVOC体现)、非甲烷总烃(以NMHC体现)作为污染物控制项目。
3.10
非甲烷总烃 non-methane hydrocarbon
接纳划定的监测要领,检测器有显着响应的除甲烷外的碳氢化合物的总称(以碳计)。本尺度使用“非甲烷总烃(NMHC)”作为排气筒和厂界挥发性有机物排放的综合控制指标。
3.11
总挥发性有机物 total volatile organic compounds(TVOC)
接纳划定的监测要领,对废气中的单项挥发性有机物举行丈量,加和获得挥发性有机物的总量,以单项挥发性有机物的质量浓度之和计。现实事情中,应按预期剖析效果,对占总量90%以上的单项挥发性有机物举行丈量,加和得出。
3.12
尺度状态 standard condition
温度为273.15K、压力为101 325 Pa 时的状态。本尺度划定的大气污染物排放浓度限值均以尺度状态下的干气体为基准。
3.13
企业界线 enterprise boundary
指半导体工业企业的法定界线。若难以确定法定界线,则指企业的现实占地界线。
4 水污染物排放控制要求
4.1 水污染物排放限值见表1。
4.2 企业向城镇污水处置赏罚厂排放废水时,其第二类水污染物排放应到达表1中央接排放限值;废水进入具备处置赏罚此类污水工艺和能力的集中式工业废水处置赏罚厂的企业,其第二类水污染物排放可与集中式工业污水处置赏罚厂商定间接排放限值,并签署协议报当地情形掩护主管部门存案。企业与集中式工业废水处置赏罚厂商定的间接排放限值,不得宽于《污水综合排放尺度》中划定的接受限值。未签署协议的企业,其第二类水污染物执行表1中的间接排放限值。
4.3在领土开发密度高、情形承载能力最先削弱,或水情形容量较小、生态情形懦弱,容易发生严重水情形污染问题而需要接纳特殊掩护措施地域的企业,凭证生态情形掩护事情要求,执行表1划定的特殊排放限值。
执行水污染物特殊排放限值的地域规模、时间,由省级生态情形主管部门或设区市人民政府划定。
4.3差异类型的半导体生产企业,其单元产物基准排水量执行表2划定。
4.4 水污染物排放限值适用于单元产物现实排水量不高于单元产物基准排水量的情形。若单元产物现实排水量凌驾单元产物基准排水量,应按公式(1)将实测水污染物浓度换算为水污染物基准水量排放浓度,并以水污染物基准水量排放浓度作为判断排放是否达标的依据。产物产量和排水量统计周期为一个事情日。
在企业的生产设施同时生产两种以上产物,可适用差异排放控制要求或差异行业污染物排放尺度时,且生产设施发生的污水混淆处置赏罚排放的情形下,应执行排放尺度中划定的最严酷的浓度限值,并按公式(1)换算水污染物基准水量排放浓度:
5 大气污染物排放控制要求
5.1 有组织排放控制要求
5.1.1 大气污染物排放限值见表3。
5.1.2 废气网络处置赏罚系统应与生产工艺装备同步运行。废气网络处置赏罚系统发生故障或磨练时,对应的生产工艺装备应阻止运行,待磨练完毕后同步投入使用;生产工艺装备不能阻止运行或不能实时阻止运行的,应设置废气应急处置赏罚设施或接纳其他替换措施。
5.1.3 进入VOCs燃烧(焚烧、氧化)装置的废气含氧量可知足自身燃烧、氧化反映,不需另外增补空气的(燃烧器需要增补空气助燃的除外),以实测浓度作为达标判断依据,但装置出口烟气含氧量不得高于装置入口废气含氧量。
吸附、吸收、冷凝、生物、膜疏散等其他VOCs处置赏罚设施,以实测浓度作为达标判断依据,不得稀释排放。
进入VOCs燃烧(焚烧、氧化)装置的废气需要增补氧气(空气)举行燃烧、氧化反映的,排气筒中实测大气污染物排放浓度,应按公式(2)换算为基准含氧量为3%的大气污染物基准排放浓度。
5.1.4 排放氯气、氰化氢的排气筒高度不低于25m,其他排气筒高度不低于15m(因清静思量或由特殊工艺要求的除外),详细高度以及与周围修建物的距离应凭证情形影响评价文件确定。
5.1.5 当执行差异排放控制要求的废气合并排气筒排放时,应在废气混淆前举行监测,并执行响应的排放控制要求;若可选择的监控位置只能对混淆后的废气举行监测,则应按各排放控制要求中最严酷的划定执行。
5.2 无组织排放控制要求
企业界线大气污染物任何1小时平均浓度执行表4 划定的限值。
6 污染物监测要求
6.1 污染物监测的一样平常要求
6.1.1 企业应凭证《情形监测治理措施》等划定,建设企业监测制度,制订监测方案,对污染物排放状态及其对周边情形质量的影响开展自行监测,生涯原始监测纪录,并宣布监测效果。
6.1.2 企业安装污染源排放自动监控装备的要求,按有关执法和《污染源自动监控治理措施》的划定执行。
6.1.3 企业应凭证情形监测治理划定和手艺规范的要求,设计、建设、维护永世性采样口、采样测试平台和排污口标志。
6.1.4 对企业排放的废水和废气的采样,应凭证监测污染物的种类,在划定的污染物排放监控位置举行。有废水、废气处置赏罚设施的,应在该设施后监控。
6.2 水污染物监测要求
6.2.1 水污染物的监测采样按HJ/T 91、HJ 493、HJ 494、HJ 495 的划定执行。
6.2.2 对企业排放水污染物浓度的测定接纳表5所列的要领尺度。
6.2.3 本尺度宣布实验后,表5所列污染物若有新宣布的国家情形监测剖析要领尺度,其要领适用规模和条件相同的,也适用于本排放尺度对应污染物的测定。
6.3 大气污染物监测要求
6.3.1 排气筒中大气污染物的监测采样按GB/T 16157、HJ/T 397、HJ 75、HJ 76、HJ 732划定执行;大气污染物无组织排放的监测按HJ/T 55 划定执行。
6.3.2 对企业排放大气污染物浓度的测定接纳表6所列的要领尺度。
6.3.3 本尺度宣布后,表6所列污染物若有新宣布的国家情形监测剖析要领尺度,其要领适用规模和条件相同的,也适用于本排放尺度对应污染物的测定。
7 达标判断
7.1 接纳手工监测时,凭证相关监测手艺规范要求获取的监测效果凌驾本尺度排放浓度限值的,判断为排放超标。各级生态情形主管部门在对企业举行监视性检查时,可以现场即时采样或监测的效果,作为判断排污行为是否切合排放尺度以及实验相关情形掩护治理措施的依据。
7.2 企业凭证执律例则及尺度规范要求与生态情形部门联网的自动监测有用数据,大气污染物以恣意1小时平均浓度值作为达标审核的依据,水污染物以日均值作为达标审核的依据。
7.3 国家和省对达标判断尚有要求的,从其划定。
8 尺度的实验与监视
8.1 新建企业自2020年7月1日起,现有企业自2022年7月1日起执行本尺度。
8.2 本尺度由县级以上人民政府生态情形主管部门认真监视实验。
8.3 在任何情形下,企业均应遵守本尺度的污染物排放控制要求,接纳须要措施保证污染防治设施正常运行。